真空泵的種類

無論技術類型為何，工業真空泵的基本運作原理都是相同的。

工業真空系統可分為以下幾組壓力範圍：

• 粗真空/低真空：1000 至 1 mbar / 760 至 0.75 Torr
• 精細/中等真空：1 至 10-3 mbar / 0.75 至 7.5-3 Torr
• 高真空：10-3 至 10-7 mbar / 7.5-3 至 7.5-7 Torr
• 超高真空：10-7 至 10-11 mbar / 7.5-7 至 7.5-11 Torr
• 極高真空： < 10-11 mbar / < 7.5-11 Torr

轉移泵透過動量交換（動力作用）或正位移來轉移氣體分子。從幫浦排出的氣體分子數量與進入幫浦的相同，排出時氣體略高於大氣壓力。 壓縮比是排氣壓力 (出口) 與所獲得的最低壓力 (入口) 之比。

動力輸送幫浦

動力輸送泵使用高速葉片或引入的蒸氣將瓦斯導向出口，其工作原理是動量傳遞。這些類型的幫浦可以在低壓力下達到高壓縮比，但通常沒有密封容積。

透過機械方式捕捉一定體積的氣體並使其通過幫浦的幫浦稱為正排量幫浦。通常在單一驅動軸上設計為多段式，隔離的體積以較高壓力壓縮成較小的體積，最後將壓縮氣體排出至大氣或下一個幫浦。為了提供更高的真空度和流量，通常會串聯使用兩個輸送幫浦。 

如前所述，正排量真空泵用於產生低真空。這種類型的真空泵，會擴大一個空腔，讓氣體流出密封的環境或腔室。之後，密封空腔，使其排入大氣中。正排量真空泵的原理是透過擴大容器的體積來產生真空。舉例來說，在手動水泵中，一個機械裝置會將一個小的密封空腔擴大，以產生深度真空。由於壓力的關係，腔體中的一些流體被推入泵的小腔體中。之後，再將幫浦的空腔從腔體中封閉，打開到大氣中，然後再擠壓回微小尺寸。正排量真空泵的另一個例子就像是隔膜肌肉會擴張胸腔，使肺的容積增加。膨脹的結果是產生部分真空並降低壓力，然後由大氣壓力推入的空氣填滿。正排量真空泵的例子有液環式真空泵浦和羅茨鼓風機，這些泵浦在各行各業中被廣泛使用，以在密閉空間中產生真空。

在真空系統中，能夠捕捉表面氣體分子的幫浦被稱為捕捉幫浦（Capture Pumps）或夾鎖幫浦（Entrapment Pumps）。與真空泵（如傳送泵）相比，這些泵的流量較低，但是它們可以提供極高的真空度，低至 10-12Torr。捕集泵使用低溫冷凝、離子反應或化學反應來運作，沒有移動零件，因此可產生無油真空。
那些利用化學反應工作的 Entrapment Pumps 性能更佳，因為它們通常會放置在需要真空的容器內。空氣分子會形成一層薄膜，這層薄膜會在幫浦運作時與幫浦的內表面產生化學反應而被移除。真空泵與正排量真空泵和動量傳輸真空泵一起使用，可產生超高真空。

離心泵

離心泵是一種液壓操作的機器，其特點是能夠透過離心力場的作用將能量傳遞至流體（特別是液體）。其主要目的是通過增加壓力來傳輸流體。離心泵可以有不同的結構，但其工作原理和流體動力特性總是相同的。